AMHS（Automated Material Handling Systems）

　自動ウェハ搬送システム。半導体生産ラインにおいて、AMHS装置間または製造装置のロードポートとの間でウェハ (材料) を自動搬送するシステム。

● AMHSルート

AMHS装置間または製造装置のロードポートとの間のウェハ (材料) を運ぶための経路。

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