HSMS（High Speed Message Services）

　HSMSは、SECS-IのRS232Cによるシリアル通信をTCP/IPで置き換えるもので、 高速SECSメッセージサービス (High Speed Message Service) とよばれ、 SEMIスタンダードに準拠するもの。 コンピュータ上のアプリケーションが半導体製造装置との間で大量のメッセージを高速に伝達できるもの。

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