Subject : GEM (Generic Equipment Model)
カテゴリー : 技術 > 半導体
GEM (Generic Equipment Model)
SEMIスタンダード における装置定義。GEMは、SEMI製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデルとよばれ、 全ての半導体 製造装置を対象にSECS-IIの標準的な適用方法を定義している。
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